Polovodičový priemysel je základným kameňom moderných informačných technológií; jej technologická vyspelosť a rozsah rozvoja slúžia ako kľúčové ukazovatele vedeckej inovačnej schopnosti krajiny a komplexnej národnej sily.
Keďže výkon polovodičových materiálov prvej{0}} a druhej{1}}generácie-ako je kremík a germánium- sa blíži k teoretickým limitom, majú problém splniť požiadavky v extrémnych prevádzkových prostrediach charakterizovaných vysokými teplotami, vysokými frekvenciami, vysokými úrovňami výkonu a vystavením žiareniu. V dôsledku toho si nové polovodičové materiály-predovšetkým karbid kremíka a diamant-vyslúžili širokú pozornosť vďaka svojim výnimočným elektrickým vlastnostiam.
Polovodičové substráty slúžia ako základ pre výrobu-výkonných mikroelektronických a optoelektronických zariadení. Kvalita ich povrchových a podpovrchových oblastí kriticky ovplyvňuje výkon zariadenia; dosiahnutie vynikajúcich výsledkov si vyžaduje udržiavanie vysokej povrchovej-presnosti tvaru a sub-nanometrovej drsnosti povrchu a súčasne predchádzanie poškodeniu povrchu a podpovrchu.
Spracovanie polovodičového substrátu zahŕňa predovšetkým krájanie, lapovanie a leštenie, zatiaľ čo spracovanie polovodičových plátkov sa zameriava hlavne na brúsenie (na riedenie) a krájanie.
Kniha *Principy and Key Technologies of Abrasive Processing for Ultra-Hard Semiconductor Substrates* predstavuje technológiu pevného-abrazívneho spracovania. Upevnením brúsnych zŕn na substrát nástroja táto metóda umožňuje presnú kontrolu nad rozhraním obrábania, čím zvyšuje efektivitu spracovania a zlepšuje kvalitu povrchu.
Presnou reguláciou brúsnych zŕn na povrchovej vrstve nástroja-konkrétne riadením hĺbky rezu tak, aby bola zarovnaná s kritickým oknom prechodu krehkého-do{2}}priechodu krehkého-do{2}}u polovodičových materiálov možno dosiahnuť -vysoko{4}}kvalitné povrchy substrátov. Vývoj pevných-nástrojov na opracovanie brúsnych materiálov predstavuje prelom v princípoch, metódach a technológiách spracovania ultra-tvrdých polovodičových substrátov; okrem toho zohráva kľúčovú úlohu pri vytváraní a zdokonaľovaní teoretického rámca a technických postupov pre vysoko-účinné a vysoko{9}}kvalitné spracovanie týchto substrátov. Pre nákup kliknite na obrázok
Úvod knihy
*Princípy a kľúčové technológie abrazívneho spracovania pre ultra-tvrdé polovodičové substráty* systematicky zhŕňa výsledky výskumu autorov a ich tímu za posledné desaťročie týkajúce sa princípov a kľúčových technológií abrazívneho spracovania pre ultra-tvrdé polovodičové substráty. Kniha načrtáva typy, vlastnosti, aplikácie a perspektívy vývoja týchto substrátových materiálov a poskytuje -hĺbkové vysvetlenie technológií spracovania- vrátane pracovných postupov procesu, mechanických vlastností, mechanizmov odstraňovania materiálu a bežných techník spracovania. Zameriava sa na princípy brúsneho spracovania a výrobu a aplikáciu brúsnych nástrojov, zahŕňa technológie rezania, brúsenia, leštenia a krájania, ako aj nedeštruktívne meracie a charakterizačné techniky. Okrem toho ponúka pohľad na budúce trendy vývoja týchto technológií spracovania. Nové technológie prezentované v knihe sú vysoko realizovateľné a preukázali vynikajúce praktické výsledky.
*Princípy a kľúčové technológie abrazívneho spracovania pre ultra-tvrdé polovodičové substráty* sú vysoko cielené, praktické a poučné. Slúži ako cenná referencia pre inžinierov a technických odborníkov v oblastiach, ako je strojárstvo, inteligentná výroba a integrované obvody, a môže byť tiež použitá ako učebnica alebo referenčná kniha pre študentov vysokých škôl a postgraduálnych študentov špecializujúcich sa na strojárstvo, inteligentnú výrobu, prístrojovú vedu a technológiu a integrované obvody.
